原理误差由于理论不完善或采取近似理论而产生。它与制造精度无关，而是由设计决定。仪器采取何种方案，进行何种近似处理，便会产生何种原理误差。例如激光测长系统的小数有理化，光学系统的畸变误差等，都属原理误差。